Микротвердость - одна из наиболее важных характеристик покрытий - определяется не только технологией их нанесения, но и качеством поверхностей, на которые они наносятся.

Партия пластин из быстрорежущей стали Р6М5, твердостью НВС 62...64, Ка = 0,32 была предварительно подготовлена тремя способами: в 1,1,1 - трихлорэтане; во фреоне TF (очистка в двух ваннах с фреоном TF и сушка в парах фреона TF), обезжиривание 1,1,1-трихлорэтаном, очистка в щелочном моющем средстве Sitiron, промывка проточной водопроводной водой, дегидрирование во фреоне T-DPC удаление остатков фреона Т- DPC во фреоне ТР погружением и сушка в парах фреона ТР (полный цикл, предусмотренный в установке мод. WM-I2C0).
После этого на все пластины было нанесено покрытие Ti, N  на установке ННВ6.6-И1.   Причем время нанесения покрытия изменялось от 20 до 100 мин, таким образом было получено покрытие   различной толщины. Поверхность пластины после очистки в 1,1,1-трихлорэтане при времени нанесения покрытия 20 мин. изображена на рис. 1. Это также можно наблюдать в таких системах, как центробежные насосы в Москве.
Как видно на рис. 1, покрытие легло неровно, на поверхности имеются выступы и впадины. Замеры толщины покрытия, произведенные в 50 точках, показали, что она колеблется от -0,0924 до 2,9154 мкм (минус указывает на то, что имеются отслоения покрытия). Значения микротвердости пластин, приведенные в табл. 1, свидетельствуют также о плохом качестве покрытия: имеются разброс и низкие значения микротвердости.
При обработке во фреонах (две ванны о горячим фреоном и сушка в парах фреона) и времени покрытия 20 мин поверхность образцов получается также неровной, толщина покрытия колеблется от -0,1033 до 2,9499 мкм (рис. 2).
Как видно на рис. 2, на поверхности образца имеются существенные отслоения покрытия, о чем свидетельствуют впадины   на поверхности образца.
Средние значения микротвердости пластин после обработки во фреоне и нанесения покрытия приведены в  табл. 2.
При обработка по полному циклу поверхность пластин после покрытия получается более ровной, без существенных неровностей (рис. 3).